www.乐鱼.com-御微半导体加速布局半导体量检测设备

2026年3月25日至27日，全世界半导体行业瞩目的SEMICON China 2026将于上海新国际博览中央昌大启幕。作为海内光学量检测设备范畴的领军企业，御微半导体将以“于Epsilon的标准上，构建确定性”为主题，重磅登岸N2馆2531展位。届时，御微将全景出现其于掩模基板制造、掩模版制造、芯片制造和进步前辈封装四年夜范畴的焦点技能冲破与全财产链解决方案，向业界展示国产高端量检测装备的“确定性”气力。

展位亮点：新品首发 + 多维技能演讲

位在焦点展区的御微展台，将化身技能秀场。展会首日（3月25日）14:00-14:25，御微将迎来年度重磅时刻——新品发布会。依托于高周详光学装备范畴的技能积淀，这次新品立异交融"高分辩率透射+反射双光路同步紫外成像技能”，“纳米级运动节制技能“和“超年夜范围图象计较技能”，旨于树立全新的机能标杆。

此外，御微尤其筹谋了五场硬核技能演讲，从工艺演进的前瞻视角到AI赋能的现实落地，全程高能输出：

3月25日 11:00-11:20：《Logic工艺技能蜕变浅谈——从planar CMOS到GAA——》 （曾经安生）

3月26日 11:00-11:20：《御微助力光掩模客户降本增效——全生命周期解决方案》 （聂秋平）

3月26日 14:00-14:20：《御微助力进步前辈封装工艺节点晋升》（刘云芳）

3月26日 15:00-15:20：《晶圆量检测方案助力集成电路制造良率晋升》（赵赫）

3月27日 10:00-10:20：《从“瞥见”到“自立”闭环：量检测解决方案的AI主动驾驶之路》（韩晶晶）

全产物矩阵：深耕四年夜范畴，修筑焦点工艺壁垒

本次展会，御微不仅止在发布，更于在出现成熟的财产化结果。四年夜运用范畴的产物矩阵彰显其从装备到工艺的深刻理解，多款焦点装备已经实现批量交赋予范围化量产。

·掩模基板制造：Halo系列掩模基板检测装备，以高精度与高缺陷抓取率，兼容多类型版库，实现全主动缺陷回看与阐发。

·掩模版制造：构建全生命周期品质监控系统。i6R系列笼罩全流程监控；Raptor系列掩模图形缺陷检测装备要害缺陷检出率达100%；APEX-R1系列工业级原子力显微镜实现高精度纳米描摹表征与低毁伤修复；掩模外貌缺陷检测装备独创“检测+清洁”一体，对于水渍、指纹等疑问缺陷实现100%检出率。

·芯片制造：i12-U系列为无图形晶圆提供全外貌检测，i12-F系列图形晶圆缺陷检测装备已经批量交付头部客户，此中i12-F300撑持明暗场同时检测与无硅片处方功效，年夜幅晋升产线效率、缩短NPI周期。HOUYI系列套刻量测装备已经广泛运用在海内逻辑与存储芯片产线。APEX-X1系列原子力显微镜量测装备，专攻FinFET、3D NAND等繁杂三维布局。再搭配Raptor 系列产物，可实现缺陷源头管控。

·进步前辈封装：i12-F系列图形晶圆缺陷检测装备可撑持Frame、翘曲片、透明/半透明等多种物料类型，检测缺陷尺寸可达0.12um，满意进步前辈封装TSV、正面金属制程、反面工艺、重叠制程等工序检测；i12-FEB5系列高精度晶圆边违缺陷检测装备，可捕捉小至0.125μm的边沿缺陷，并集成多种轮廓丈量、缺陷分类功效，完善契合HBM和3D封装混淆键合的严苛需求。

御微半导体建立在2019年，已经乐成推出数十款量检测装备，并连续供货给国际知名集成电路厂商。依托上海、合肥、西安、北京、南京等地的天下结构，公司已经荣获国度级专精特新“小伟人”称呼。

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